型号:MES408,MES612,MES816,MES816-TP
◆ 测试站:4-8个
◆ 全端口标配自锁功能,无需拧螺母
◆ 各站标配独立压力传感器
◆ 测试站/脱气站独立真空系统,互不污染
◆ 可选配多路进气模块
◆ 可选配帕尔贴控温系统
◆ 可选配独立脱气站
◆ 可选配分子泵
◆ 可选配全自动原位脱气模块